斯科维尔半导体
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电话:+86-21-54396099
邮箱:info@h-square.cn
货号:WS200
产品 

描述 

WS200 - 自动单晶圆转移和晶圆分拣机
 
独立的桌面式自动化系统,具有双盒式基座配置。与 SEMI 标准运输、工艺和金属料盒兼容。触摸屏界面可以选择自动、自定义配方或手动传输模式。末端执行器专为标准或薄晶圆设计,包括晶圆映射功能。安全的无真空低接触末端执行器包括一个晶圆映射传感器,用于映射每个料盒中的晶圆位置和检测晶圆存在,实现精确运动。

• SECS/GEM工具接口
• 集成自动OCR
• Pre-Aligner
• 晶圆突出传感器
• 交叉槽/重叠槽检查
• 料盒位置传感器
 晶圆尺寸:100mm-200mm
规格
晶圆尺寸 100-200mm
电源要求 220V转DC24伏
   
   

附加信息

附加信息


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