斯科维尔半导体
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描述 

桌面自动RSP150型SMIF POD开盒器。SMIFPO16可解开四个闭锁机制型的RSP150 POD ,可提升和存放POD盖,方便取放内部光罩。
简单的一键操作,即可打开或关闭POD。安全功能包括Z轴制动系统和光罩突出传感器。
兼容所有行业标准的单片和多片 RSP150 POD。专为 ISO 等级 3(FS209E 等级 1)设计;抗静电结构。
规格
电源要求 220VAC 至 24VDC   3 安培 电源单独出售
重量 60磅

附加信息

附加信息

装运重量  130磅
装运尺寸  13 × 17 × 34 英寸

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