斯科维尔半导体
斯科维尔半导体
电话:+86-21-54396099
邮箱:info@h-square.cn
货号:LCT1AS12
产品 

描述 

桌上型自动高性能水平晶圆转移工具。先进的低接触晶圆传输机提供最洁净、可靠和快速的标准晶圆和易碎晶圆传输方式。
坚固的结构设计提供高可靠性和低维护成本,小体积的设计节省宝贵的洁净室空间。LCT1AS12兼容所有业界标准的FOUP、FOSB和SEMI标准金属和塑料开放式料盒。
下单时需要指定需要支持的料盒型号

 

 

LCT1AS12 特性:

  • 触摸屏控制
  • FOUP 转 FOSB
  • 交叉槽、晶圆重叠和晶圆存在的传感器映射检查
  • PVDF 涂层杆
  • 一次传输 25 个晶圆
规格
晶圆尺寸 300
电源要求 220VAC 至 24VDC   3 安培  电源单独出售
吞吐量 每小时 60 盒
重量 75 磅

附加信息

附加信息

装运重量 165磅
装运尺寸 19 × 35 × 20 英寸

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